PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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日本/Magnescale半導體直線編碼器在保持高速響應和高分辨率的同時,實現(xiàn)穩(wěn)定的超精密測量。適用于精密工作臺,半導體測試/制造設備及超精密加工機等
聯(lián)系電話:15510102388
信號波長:250nm
高精度:±1μm/420mm
高速響應:1,800mm/s
最大分辨率:3.8pm
產(chǎn)品陣容:帶原點,無原點
wan全非接觸:原理上不存在返回誤差
柵尺部分:ZERO玻璃,無堿玻璃
厚度:12mm的薄型讀頭
支持各種分辨率和輸出格式 (BD96,BD700等,取決于內(nèi)插盒)
可支持真空 (特殊規(guī)格產(chǎn)品)
主要規(guī)格 | ||
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激光尺使用半導體激光。激光對人體有害,所以請勿直視檢測頭 記載內(nèi)容如有更改,恕不另行通知 | ||
型號 | BH25-RED | BH25-NED |
測量范圍 (mm) | 30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 / 470 / 520 / 570 / 640 (ZERO玻璃,無堿玻璃) | |
柵尺全長 | 測量范圍+26mm | |
最大可動長度 | 測量范圍+10mm | |
精度 (20℃時) | ±0.5μm (30 ~ 170 mm) ±1.0μm (220 ~ 420 mm) | |
光柵間距 | 1.0μm | |
信號波長 | 0.25μm (250nm) | |
原點位置 | 1個 | 無 |
原點檢測方向 | 單方向 | - |
溫度膨脹系數(shù) | 0.1×10-6/℃ (ZERO玻璃) 3.7×10-6/℃ (無堿玻璃) | |
光源 | 半導體激光 波長 790nm 輸出 6mW | |
檢測方式 | 衍射光柵掃描 | |
工作溫度范圍 | 10 ~ 30℃ (不得有結露) | |
保存溫度范圍 | -10 ~ 50℃ (濕度必須為60% 或更低) | |
最大響應速度 | 1,800mm/s | |
輸出信號 | 連接內(nèi)插盒等 | |
輸出分辨率 | 取決于內(nèi)插盒分割數(shù) |
郵箱:zcl@kitazaki.cn
傳真:86-010-67868591
地址:朝陽區(qū)住邦2000商務樓A座1號樓406B